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国家鼓励的重点集成电路设计企业和软件企业，集成电路线宽小于65纳米(含)的逻辑电路、存储器生产企业，线宽小于0.25微米(含)的特色工艺集成电路生产企业，集成电路线宽小于0.5微米(含)的化合物集成电路生产企业和先进封装测试企业，集成电路产业的关键原材料、零配件(靶材、光刻胶、掩模版、封装载板、抛光垫、抛光液、8英寸及以上硅单晶、8英寸及以上硅片)生产企业享受税收优惠政策。
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国家鼓励的重点集成电路设计企业和软件企业，集成电路线宽小于65纳米(含)的逻辑电路、存储器生产企业，线宽小于0.25微米(含)的特色工艺集成电路生产企业，集成电路线宽小于0.5微米(含)的化合物集成电路生产企业和先进封装测试企业，集成电路产业的关键原材料、零配件(靶材、光刻胶、掩模版、封装载板、抛光垫、抛光液、8英寸及以上硅单晶、8英寸及以上硅片)生产企业享受税收优惠政策。
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外资研发中心享受采购进口设备免税资格认定由深圳市商务局、深圳市财政局、国家税务总局深圳市税务局(以下简称深圳市税务局)、中华人民共和国深圳海关负责。外资研发中心可以选择放弃免征进口环节增值税。主动放弃免征进口环节增值税后，36个月内不得再次申请免征进口环节增值税。
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为贯彻落实《财政部海关总署税务总局关于“十四五”期间支持科技创新进口税收政策的通知》和《关于“十四五”期间支持科技创新进口税收政策管理办法的通知》有关要求，支持符合条件的科技类民办非企业单位性质的社会研发机构享受支持科技创新进口税收优惠政策。
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